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甲基三氯矽烷是一種有█機化合物，分子式CH3Cl3Si。別名甲基矽仿、三氯甲基矽烷 ；外觀與性狀是無色液體，具有刺鼻惡臭，易潮解。中等毒性，與空氣混合可爆可燃性危險特性遇明火、強氧化劑可燃，遇高溫或水分解出有毒氣體氯化氫，儲運時庫房應通風低溫幹燥，與氧化劑、酸類分開存放。
甲基三氯矽烷生產方法
氯甲烷與矽粉在氯化亞銅催化劑存在下一步直接合成，生成甲基氯矽烷混合物，經精餾提純得產品二甲基二氯矽烷，再用減壓精餾的方法分離提純。
甲基三氯矽烷主要用途
用於制造矽酮化合物，用作有機矽樹脂的單體
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